第六届国际先进光刻技术研讨会（IWAPS-2022）将于2022年10月21日-22日在线举办
IWAPS-2022由中国集成电路创新联盟，中国光学学会，中国电子学会主办；
中国科学院微电子研究所，中国光学学会光刻技术专业委员会承办；
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院，南京诚芯集成电路技术研究院协办；
IEEE提供支持。
合作期刊为《Journal of Microelectronic Manufacturing》http://www.jommpublish.com/
有任何疑问可联系IWAPS会务组秘书：粟雅娟 邮箱：suyajuan@ime.ac.cn 电话：010-82995816
