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第四届国际先进光刻技术研讨会(IWAPS-2020)将于2020年11月5日-6日在成都川投国际酒店举办。

IWAPS-2020由中国集成电路创新联盟和中国光学学会主办;

中国科学院微电子研究所,中科芯未来微电子科技成都有限公司,中国科学院光电技术研究所共同承办;

成都市双流区人民政府与南京诚芯集成电路研究院有限公司共同协办。


合作期刊为《Journal of Microelectronic Manufacturinghttp://www.jommpublish.com/


有任何疑问可联系IWAPS会务组秘书:粟雅娟 邮箱:suyajuan@ime.ac.cn 电话:010-82995816

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