第六届国际先进光刻技术研讨会(IWAPS-2022)将于2022年10月21日-22日在线举办
IWAPS-2022由中国集成电路创新联盟,中国光学学会,中国电子学会主办;
中国科学院微电子研究所,中国光学学会光刻技术专业委员会承办;
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院,南京诚芯集成电路技术研究院协办;
IEEE提供支持。
合作期刊为《Journal of Microelectronic Manufacturing》http://www.jommpublish.com/
有任何疑问可联系IWAPS会务组秘书:粟雅娟 邮箱:suyajuan@ime.ac.cn 电话:010-82995816